2025年4月16日消息,国家知识产权局信息显示,芜湖映日科技股份有限公司申请一项名为“太阳能电池用高迁移率低接触电阻靶材及薄膜制备方法”的专利,公开号CN 119822789 A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明涉及靶材技术领域,提供一种太阳能电池用高迁移率低接触电阻靶材及薄膜制备方法,通过使用纳米级金属粉末Ag、Cu、A l中的一到两种金属氧化物,与宽带隙元素Ti、Ga、Zn中的一到两种金属氧化物,与高价元素Zr、W、Mo中的一到两种金属氧化物,与高纯度氧化铟进行不同比例的复合掺杂,在获得高密度靶材的基础上,优化PVD薄膜制备工艺,获得太阳能电池窗口层用高迁移率、低接触电阻的金属氧化物薄膜。