山东：重点发展碳化硅、氮化镓、金刚石等新材料

时间：2025-01-17 17:33:28 来源：CBC金属网

内容描述：2025年1月16日讯：据山东省科学技术厅官网消息，近日，山东省发布了《山东省新材料产业科技创新行动计划（2025—2027年）》（以下简称“《行动计划》”），提出实施标志性产业链战略材料攻坚行动，在新一代电子信息材料方面，研究大尺寸碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制备技术和装备，突破碳化硅、氮化镓衬底超精密高效加工核心技术。攻克超宽禁带金刚石单晶、氮化铝生长及器件技术。

2025年1月16日讯：据山东省科学技术厅官网消息，近日，山东省发布了《山东省新材料产业科技创新行动计划（2025—2027年）》（以下简称“《行动计划》”），提出实施标志性产业链战略材料攻坚行动，在新一代电子信息材料方面，研究大尺寸碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制备技术和装备，突破碳化硅、氮化镓衬底超精密高效加工核心技术。攻克超宽禁带金刚石单晶、氮化铝生长及器件技术，突破大口径高质硅单晶、高端光刻胶制备技术，满足面向集成电路、芯片产业领域的自主可控技术需求。

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氮化镓氮化铝碳化硅

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