近日,富士胶片在位于日本熊本县富士胶片九州(FUJIFILM Kyushu Co., Ltd.,富士胶片的生产子公司,以下简称:九州工厂)引进的半导体材料生产设备正式启动。这是从事显示器材料生产的九州工厂首次生产半导体材料。
九州工厂生产的是CMP(Chemical Mechanical Polishing)浆料,而该材料是半导体制程工艺中的一种关键材料。CMP浆料是一种抛光剂,可以均匀地将具有不同硬度的互连和绝缘膜混合物的半导体表面平坦化。这是富士胶片继美国、中国台湾、韩国之后的第四个制造基地。投资额约为20亿日元。为台积电在菊阳町建设的半导体工厂等供货。