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英诺激光:目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主

时间:2023-06-13 10:15:55 来源:CBC金属网

内容描述:6月13日,英诺激光表示,公司在半导体领域持续投入研发,目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主,亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主。

6月13日,英诺激光表示,公司在半导体领域持续投入研发,目前提供的产品以碳化硅退火制程的激光器为主,亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主。

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