AMHS系统开发助力半导体制造高效运转

据悉，近日泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS（Automatic Material Handling System）的开发和Demo系统运营，并通过了技术规格验证。

芯片制造对工艺和环境要求很高——先进的12inch半导体工厂需要无尘洁净的环境，对整个工厂运营的自动化、智能化程度要求很高，这使得如何提高整个洁净工厂的空间利用率、减少机台的闲置时间、提升生产效率和产品良率成为其最关心的问题。12inch半导体制造工厂的AMHS系统由多种硬件设备（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和软件系统（MCS、OCS、STKC等）组成。AMHS系统可以在洁净环境中实现复杂工艺间的无人自动搬送，提升运营效率的同时确保品质和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大规模量产，提高生产效率的优先选择。随着行业技术发展，AMHS也将被大规模应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各种半导体制造工序中。

合肥欣奕华AMHS系统的搬送效率、晶圆保护、动作精度等各项性能指标均达到国际先进水平，而且拥有独有的路径搜索算法专利，具备大规模车辆智能调度能力。其中自主研发的高速OHT产品，技术规格和信赖性达到业界领先水平，可以在最高320m/min的高速行驶下平稳运行，同时高速行驶的振动数据、移载速度、Vehicle间防冲撞控制等技术指标比肩业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤，可以对应多种制造工序的产品，而且具备单LOOP内同时控制200台Vehicle的配车能力。