2024年2月29日消息,据国家知识产权局公告,金宏气体股份有限公司取得一项名为“一种集成电路用超纯TEOS的中试装置”,授权公告号CN220530702U,申请日期为2023年7月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种集成电路用超纯TEOS的中试装置,关于集成电路用超纯TEOS生产制造技术领域,包括原料罐,所述原料罐的下端设置有支腿,所述原料罐的一侧安装有液位计,所述液位计包括非透明部和透明部,所述液位计内滑动连接有第二显示块,所述液位计上还设置有连接板,所述连接板上滑动连接有与第二显示块相匹配的第一显示块,所述第一显示块能够随着第二显示块而移动,所述第一显示块的下端设置有刻度绳,所述连接板的上端设置有重力抵消组件,所述重力抵消组件用于抵消第一显示块和刻度绳产生的重力。与现有技术相比,根据本实用新型的一种集成电路用超纯TEOS的中试装置能够便于工作人员在晴天或者雨天准确判断原料的液位。
金宏气体:公司已经取得一种集成电路用超纯TEOS的中试装置专利
内容描述:2024年2月29日消息,据国家知识产权局公告,金宏气体股份有限公司取得一项名为“一种集成电路用超纯TEOS的中试装置”,授权公告号CN220530702U,申请日期为2023年7月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种集成电路用超纯TEOS的中试装置,关于集成电路用超纯TEOS生产制造技术领域,包括原料罐。
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