据CBC金属网讯:近期中国科学院院士石墨烯研究院院长刘忠范等合作,提出了一种纳米柱辅助的范德华外延方法,利用金属有机化学气相沉积,国际上首次在玻璃衬底上成功“异构外延”出连续平整的准单晶氮化镓薄膜,并制备蓝光发光二极管。
刘忠范表示,这一成果是典型的“从0到1”式的原创性突破,为石墨烯等二维材料的产业化应用提供了新思路,有望发展为氮化物变革性制备技术,解决先进半导体发展技术瓶颈,在新型显示、柔性电子学等领域具有重要应用前景。同时,该技术通过“异构外延”减弱了氮化物对单晶衬底的依赖,对于扩大半导体外延衬底选择范围、丰富半导体异质外延概念、实现面向后摩尔时代的片上物质组装和异构集成,具有重要意义。